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半導體特化耗材

更新 2026-05-26

定義

以台積電 2nm/A16/A14 先進製程與 BSPDN 技術導入為需求核心的台灣特化耗材主題鏈,涵蓋前段光阻/洗邊劑、CMP 研磨、晶圓薄化、ALD 前驅物,以及先進封裝 PSPI/TSV 蝕刻氣體/清洗等環節。

供應鏈結構圖

flowchart TD
    TSMC[台積電
2nm / A16 / A14
先進製程 + BSPDN]

    subgraph 前段耗材 [前段製程耗材]
    PhotoR[光阻/洗邊劑
4749_新應材
TSMC 在地化 66% 2026E]
    CMP輪[CMP 研磨輪
1560_中砂]
    CMP墊[CMP 研磨墊
7768_頌勝科技
+40-60 道 BSPDN 受惠]
    Wafer[晶圓再生/薄化代工
8028_昇陽半導體]
    ALD[ALD 前驅物
7887_宇川精材]
    Gas[電子特用氣體/矽乙烷
4772_台特化
N2 最大矽乙烷供應商]
    end

    subgraph 封裝耗材 [先進封裝耗材]
    Cleaner[封裝清洗劑
1773_勝一]
    PSPI正[正型 PSPI
5234_達興材料
1711_永光
1717_長興]
    PSPI負[負型 PSPI 顯影
4755_三福化]
    Etch[TSV/玻璃蝕刻氣體
4768_晶呈科技]
    end

    TSMC --> 前段耗材
    TSMC --> 封裝耗材

各環節廠商

前段光阻/洗邊劑

廠商 地位 備註
4749_新應材(櫃) 台灣在地化主力 2nm/A16/A14 光阻特規配方;TSMC 在地化比例 2026E ~66%、2030E ~68%
300054.SZ(dinglong) 中國 KrF / ArF 替代 野村指出中國 KrF 國產化率約 15%、ArF 僅 2-3%,鼎龍已有 3 款 ArF / KrF 穩定量產;詳見 技術_KrF_ArF光阻

EUV / MOR 光阻升級

環節 代表廠商 備註
MOR 材料 JSR / Inpria 金屬氧化物 EUV 光阻,對應 High-NA EUV 與 DRAM critical layers;詳見 技術_MOR金屬氧化物光阻
Dry resist 設備 / 流程 Lam Research Aether dry photoresist 走 deposition / dry development / etch 整合路線,可能改變傳統濕式輔材價值分配
台灣輔材 optionality 4749_新應材(櫃) 短期是 rinse / BARC,長期才是 KrF PR、EUV PR、MOR 輔材或本體選擇權

CMP 研磨耗材

廠商 地位 備註
1560_中砂(市) CMP 研磨輪主力 受惠 N2→A16 CMP step +15-20%,BSPDN 晶圓薄化需求
7768_頌勝科技(市) CMP 研磨墊 BSPDN 額外 +40-60 道研磨需求,2026E EPS +147%

晶圓再生 / 薄化

廠商 地位 備註
8028_昇陽半導體(市) 晶圓再生/薄化代工 BSPDN 薄化、12inch 面積成長,2026E EPS +57%

ALD 前驅物

廠商 地位 備註
7887_宇川精材(興) 台灣主要廠商 高介電材料(La2O3、Y2O3)前驅物;目前仍虧損,高成長潛力

電子特用氣體(矽烷氣體 / AHF)

廠商 地位 備註
4772_台特化(櫃) 台灣唯一、全球僅四家半導體級矽乙烷量產商 矽乙烷 N2 較 N3 用量 +50~100%、N3 市佔↑→N2 最大供應商;AHF(戰略管制)在地化、ALD precursor 開發中;台灣特殊氣體自製率僅 ~5%。詳見 分析_台特化_矽乙烷與2nm在地化_20260629

電子級化學品 / 蝕刻液

廠商 地位 備註
7742_天弘化(興) 電子級化學品觀察 草酸、電子級酸鹼液、蝕刻液與金屬純化能力;半導體切入重點在濕製程化學品、金屬離子控制與客戶認證

先進封裝清洗劑

廠商 地位 備註
1773_勝一(市) 清洗劑供應商 RDL/TSV/Bump/UBM/暫時鍵合等製程清洗

先進封裝 PSPI 材料

廠商 類型 備註
5234_達興材料(市) 正型 PSPI CoWoS-R/FOCoS RDL 介電材料
1711_永光(市) 正型 PSPI 感光材料/光阻,含玻璃芯基板布局
1717_長興(市) 正型 PSPI 封裝材料,RDL/TSV/FC BGA 應用
4755_三福化(市) 負型 PSPI 顯影液 有機溶劑系,技術成熟

TSV / 玻璃蝕刻氣體

廠商 地位 備註
4768_晶呈科技(櫃) TSV 蝕刻氣體/玻璃芯基板 LADY 製程深寬比 10:1;2026E EPS +397%

先進封裝 UV 膠帶(背磨 / 切割)

廠商 角色 備註
4766_南寶樹脂(市) 配方核心(樹脂/溶劑) UV-debonding 膠帶與暫時鍵合膠高純度樹脂基;經 JV 切入
6667_信紘科技(櫃) 設備整合 化學品輸送與次微米精度自動塗佈
4749_新應材(櫃) 品質 / 通路 高純度過濾、法規、TSMC/OSAT 通路
Advanced_Pao_Trusval(未) JV 製造主體 UV 背磨/切割膠帶量產;佔南寶營收 1-2%→年底 4-5%

對應技術 技術_半導體膠帶;UV 膠帶全球市場約 US$3.3bn、9.7% CAGR(自 2024)。來源:報告_CLSA_南寶4766_20260521

觀察重點(投資視角)

  1. TSMC 2nm 月產能爬坡:4Q25 ~4萬片/月 → 4Q26 ~8-10萬片/月,耗材需求同步放量
  2. BSPDN A16 量產時程:CMP step 大幅增加,中砂、頌勝、昇陽最直接受惠
  3. A14 光阻驗證進度:新應材驗證中,通過後進入下一成長階段
  4. 正型 PSPI 國產替代:達興/永光/長興能否取得台積電供應商資格
  5. 宇川精材虧損改善:ALD 前驅物市場滲透速度是否達預期

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來源

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