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薄膜濾光片TFF

更新 2026-05-25

定義

薄膜濾光片(Thin Film Filter, TFF)以「多層介電質干涉」為核心物理原理:在光學玻璃基板上交替堆疊高折射率(H)與低折射率(L)介電質材料(如 SiO₂、TiO₂、Ta₂O₅),利用光的干涉效應使特定波長 100% 穿透、其餘波長被完全反射。它是 DWDM/CWDM 系統中完成波長合波(MUX)與分波(DEMUX)的關鍵被動元件。

與 WDM / DWDM / MUX 的關係

WDM / DWDM 是架構與規格,MUX/DEMUX 是合波 / 分波功能,TFF 是實現該功能的方案之一。TFF MUX/DEMUX 與 DWDM 需求高度相關,但不完全重疊:CWDM、FR4 / 2xFR4、LAN-WDM、光源濾鏡、PBS/PBC 也會用到 TFF;而 SiPh / CPO 的 MUX/DEMUX 也可能由 on-chip AWG、echelle grating、ring filter 或 MRM 承接。

圖解

統新_TFF多層膜結構_20260523

圖說:TFF 技術細節對比(DWDM vs CWDM)。DWDM 需 100~200 層以上多腔體堆疊、超窄通道;CWDM 層數較少(約 40~60 層)、通道間距較寬。圖中標示穿透頻譜的平頂(flat-top)與陡邊(steep edge)特性。

統新_DWDM分頻原理_20260523

圖說:TFF 分波原理。入射複合光(λ1, λ2 … λ8)經薄膜濾光片逐級反射 / 透射,將各特定波長分離輸出(demultiplexed wavelengths),是光纖網路維持超低損耗的關鍵。

技術原理

干涉與 1/4 波長規則

每層薄膜的「光學厚度」(物理厚度 × 折射率)通常設計為目標波長的 1/4。光線射入時各界面反射光產生特定相位差:對目標波長 λc 產生相消干涉使其 100% 穿透,對其他波長產生相長干涉而像鏡子一樣反射回去。

多腔體(Multi-Cavity)設計

在密集 DWDM(通道間距 100GHz≈0.8nm、50GHz≈0.4nm)中,單一共振腔的光譜邊緣太圓滑會造成相鄰通道串擾(Crosstalk)。為使穿透線接近「方波」(平頂、陡邊),採用多腔體結構:

  • 結構:數個「半波長厚度(Half-wave)」間隔層(Spacer),夾在兩組 1/4 波長堆疊的介電質反射鏡(Mirrors)之間。
  • 層數爆炸:高效能 100GHz DWDM 濾光片常需 3~5 個共振腔、總膜層 100~200 層以上,對真空鍍膜厚度控制提出奈米級(甚至皮米級)挑戰。

TFF 的 scale-up 與 AI scale-up 不同

TFF 的 scale-up 指的是「單一光路 / 單根光纖 / 單一模組內的波長密度與光學規格提升」,不是 AI networking 裡 GPU / XPU scale-up 的同義詞。

TFF scale-up 路徑 代表變化 投資含義
CWDM → DWDM 通道間距由約 20nm 壓到 100GHz / 50GHz 鍍膜層數、良率難度與 ASP 上升
4λ → 8λ / 16λ 單纖多波長增加 若架構採少纖多波長,TFF MUX/DEMUX 用量上升
一般濾片 → 高階多腔體 100-200 層、平頂陡邊、低溫漂 高階 TFF 廠壁壘提高
離散光模組 → SiPh / CPO 光源濾鏡 光源穩定、窄頻選波、PBS/PBC 受惠需看平台是否採離散 TFF,而非 on-chip filter

AI 網路三種 Scale 場景

場景 TFF 受惠確定性 原因
技術_Scale-up 低到中,視架構 Rack / supernode 內可能採多光纖、BiDi、多排 FAU 或 on-chip WDM,離散 TFF 不一定是主方案
技術_Scale-out 中高 800G / 1.6T pluggable、FR4 / 2xFR4、500m-2km 距離下 WDM / TFF 需求較明確
技術_Scale-across DCI、coherent、ZR / ZR+、DWDM line system 長距傳輸需要多波長合分波與濾波

因此,投資上不應把「CPO / scale-up 光化」直接等同於「TFF 大放量」。TFF 的較確定需求在 scale-out / scale-across 與高階光模組;CPO / SiPh 只能列為架構選擇權。

關鍵參數 / 判斷指標

指標 意義 觀察重點
插入損耗(Insertion Loss, IL) 光穿透濾光片後的能量衰減 越接近 0dB 越佳
通道隔離度(Isolation) 對相鄰非目標波長的反射 / 抑制能力 高階元件要求 -25dB ~ -30dB 以下
中心波長溫漂(Thermal Drift) 資料中心 -40~85°C 內波長偏移量 高階 TFF 需 < 1pm/°C,仰賴緻密低含水膜層
色散(Chromatic Dispersion, CD) 通道縮至 50GHz 時邊緣群延遲急升 形成「蝙蝠耳(Bat ears)」曲線,導致超高速訊號變形

關鍵製程設備

環節 設備 技術重點
鍍膜(PVD) 雙離子束濺鍍(DIBS) 製造超窄頻 DWDM 濾光片頂級設備;膜層緻密、含水量趨近零,是「零溫漂」核心
鍍膜(PVD) 電子槍離子輔助蒸鍍(IAD) 平衡效率與品質,用於規格成熟、量大的電信/寬頻濾光片
鍍膜監控 超多層光學鍍膜機 + 光學監控(OMS) 真空中即時量測反射 / 穿透率並自動修正下一層厚度
切割 對向雙軸輪刀切割機 8 吋工作範圍、精度 < 2μm;雙軸對向減少崩邊
切割 單軸輪刀切割機 6 吋、精度 < 4μm;用於成熟被動濾光片(CWDM/PON)
研磨 精密雙面拋光機 最大 ⌀150mm、可拋至 < 0.2mm、雙面精度 < 0.5μm
量測 半 / 手動光譜量測儀 六軸自動對光 + 可調諧雷射,範圍 1263~1640nm、解析度 0.1pm
檢測 AOI 外觀分類機 / BOSA 自動上片機 微塵刮傷自動判定、編帶分類、與模組廠製程對接

技術瓶頸 / 風險

  • 多腔體 100~200 層堆疊對奈米/皮米級厚度控制要求極高,任一層誤差過大整片報廢,良率與設備能力是壁壘也是瓶頸。
  • 溫漂與色散在 50GHz 超密集通道下急遽放大,限制超高速(800G/1.6T)訊號完整性。
  • 傳統 / 標準型濾片面臨中國廠商(東田微、騰景科技)低成本殺價,價值集中於高階矽光子 / CPO 用超窄頻 TFF。
  • AI scale-up 若走多光纖 parallel optics 或 on-chip WDM,傳統離散 TFF MUX/DEMUX 用量會低於「CPO 題材」直覺。

關鍵廠商

環節 廠商 角色
高階 DWDM TFF 6426_統新光訊(市) 純高階矽光子 / CPO 光源濾鏡,DIBS 多腔體製程
TFF + PBS/PBC 6588_東典光電(櫃) 帶通 / 邊緣濾光片、偏振分束 / 合束器;2026 跨半導體材料轉型
WDM / FBG / 濾光片 3163_波若威(櫃) 光通訊被動元件、WDM、FBG 鎖波

相關技術

供應鏈

供應鏈_光通訊

來源

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