基本資料
蔚華科技(Spirox)過去以半導體測試設備代理為主(代理 NI、Emerson、Osai、Hamamatsu 等),近年受中國同業競爭利潤下滑,代理業務毛利率僅 10~15%,2026 年代理機台營收預計與去年持平。公司現將主力轉向自研 TSV / TGV 雷射斷層檢測機台,切入玻璃基板與先進封裝光學檢測,是玻璃芯基板供應鏈中 AOI / 量測環節的關鍵台廠。
子公司:思衛科技(持股 100%,軟硬體整合)、南方科技(持股 70%,光學影像)。
外部佐證:Nomura《Semi-renaissance》報告點名 Spirox(3055 TT) 與 Ingentec(晶呈科技)合作進行 TGV 成孔(formation)相關開發,與本次私訪揭露的玻璃基板檢測布局一致。
核心技術/競爭優勢
- 雷射斷層 3D 成像(非線性光):依物質折射率成像,逐層掃描再拼接成 3D 影像,可看孔壁、孔底、光斑均勻性、尺寸粗糙度與玻璃內部裂痕。
- 玻璃內部裂痕檢測 Only Solution:現行 AOI 僅能測玻璃表面,Xray / 超音波速度慢、畫質差;蔚華雷射斷層是目前 TGV 玻璃內部裂痕檢測唯一可行方案。玻璃基板須通過約 1000 小時(約半年)可靠度測試,多數 fail 在玻璃裂痕。
- 檢測範圍與單價:可測 310×310 至 510×515,單價 3,000~6,000 萬元(看規格),毛利率約 50~70%,遠高於代理業務。
- 3D 全孔形貌檢測:可檢查孔柱是否符合客戶需求(如上下孔徑一致、中間縮小的沙漏形,中段縮小幅度 ≤ 上下孔徑 20%,利於後續濺鍍)。
- 產能模組化潛力:目前月組裝產能 3~5 台、全年約 30 幾台;未來不排除與其他 AOI 廠合作將光機模組化、委外代工以放大產能。供不應求時可改以「賣模組 + 收 royalty」經營(毛利率更高),惟初期仍以自行組裝為主,已備妥組裝區因應 2H26 / 2027 需求。
- 產品系列:8000G 系列(TGV 玻璃通孔 + 玻璃光耦合 / 光波導檢測,同一台機台即可完成);8000S 系列(TSV,2Q26 出貨機台)(memo_蔚華科_線上_20260623)。
- 認證與專利布局:設備已取得歐盟 CE 與 SEMI-S2 半導體安全認證;數位光學技術於美、歐、日、韓、台、中布局發明專利(非新型),台灣多項已核准、歐美取得優先權;商標於台、美、歐註冊(memo_蔚華科_線上_20260623)。
產品與應用
| 產品 / 服務 | 應用 | 相關客戶 / 下游 |
|---|---|---|
| TGV 檢測機台(8000G/雷射斷層) | 玻璃基板雷射改質 / 蝕刻穿孔 / CMP 後裂痕檢測 | GLW.US(corning)、Intel、DNP、009150.KR(semco)、3037_欣興(市) |
| TSV 檢測機台(8000S) | 孔深、孔底殘留檢測 | 6770_力積電(市)、洽談中 memory 廠 |
| 玻璃光波導 / 光纖耦合檢測(8000G 同台) | 康寧 Glass Bridge 等 CPO / 玻璃基板「以光代銅」光路對準檢測 | Intel、GLW.US(corning)(洽談中) |
| 測試設備代理 | 半導體量測 | 代理 NI / Emerson / Osai / Hamamatsu |
機台一致性
TGV 與 TSV 機台功能相同,差別僅在承載台。RD 機(510×515 測一層約 40 分鐘,3D 需測多層)負責定位缺陷在哪一層;明年規劃量產機可每層同時測(一樣 40 分鐘測完、ASP 更高、頂規上看 1 億元),但量產機不知缺陷分層位置,故客戶 RD 機與量產機兩者都需要。
圖片 / 架構圖
flowchart LR
A[玻璃雷射改質<br>看光斑/均勻性] --> B[蝕刻穿孔<br>看尺寸/粗糙度]
B --> C[金屬化<br>濺鍍/電鍍]
C --> D[增層]
A -.AOI檢測.-> E[3055 蔚華科<br>雷射斷層 3D 成像 ⭐]
B -.AOI檢測.-> E
C -.CMP後裂痕.-> E
圖說:玻璃基板四大製程(雷射改質 → 蝕刻穿孔 → 金屬化 → 增層),最關鍵為前兩步(改質 + 蝕刻做得好較不易裂)。蔚華科雷射斷層機台橫跨多節點檢測,玻璃基板廠測前三節點、載板廠測增層、OSAT 段測來料檢驗。
成長動能/催化劑
玻璃基板 AXI 檢測
- 玻璃芯基板(Glass Core Substrate)製程中,TGV 完成後的蝕刻、電鍍等多道製程站點需要檢測設備確認改質品質、是否有破裂問題(定錨)。
- 定錨點名蔚華科(Comerber)為此類玻璃基板製程檢測(AXI)設備主要代表台廠。
- CoPoS 所需 Glass Defect AXI 檢測設備:規格不算高,多家設備廠有能力供應,蔚華科為觀察重點之一(定錨)。
| Claim | 類型 | 來源 | 日期 | 信心 |
|---|---|---|---|---|
| 蔚華科為玻璃基板製程 TGV 後段 AXI 檢測設備主要台廠代表 | fact(研調) | 定錨_2026年中產業趨勢講座_MEMO(4) | 2026-06-12 | 中高 |
| CoPoS 玻璃載具 AXI 規格不高,多廠有能力供應 | estimate | 定錨_2026年中產業趨勢講座_MEMO(4) | 2026-06-12 | 中 |
| 8000G 一台同時支援 TGV 孔洞與玻璃光耦合檢測;8000S 為 TSV 機台、2Q26 出貨 | fact | memo_蔚華科_線上_20260623 | 2026-06-23 | 高 |
| 設備取得歐盟 CE 與 SEMI-S2 認證;美歐日韓台中布局發明專利 | fact | memo_蔚華科_線上_20260623 | 2026-06-23 | 高 |
| TGV 機台目標 4Q26 出貨,多家美 / 日 / 韓 T1 進入採購規格商業談判 | guidance | memo_蔚華科_線上_20260623 | 2026-06-23 | 中 |
EPS 記錄
待補
EPS 預估
待補
目標價與評等
待補(私訪來源,未含券商評等)
時間軸
| 時間 | 事件 | 類型 | 重要性 | 備註 |
|---|---|---|---|---|
| 2026-04 | 出貨力積電頂規 TSV 機台(單價 6,000 萬) | 放量起點 | ⭐⭐⭐ | 看孔深與孔底殘留;力積擬加購但仍喬廠房 |
| 2026-09 | DNP / 康寧 / 蔚華主辦論壇 | 展覽 / 催化劑 | ⭐⭐⭐ | 屆時 TGV 展望與客戶 guideline 更明確 |
| 4Q26(目標) | TGV 檢測機台(8000G)希望出貨;多家美 / 日 / 韓 T1 進入採購規格等商業談判 | 放量 | ⭐⭐⭐ | 已先採購載台 / 雷射等長交期(3–5 月)零組件備料 |
| 2026-06-12 | 玻璃基板 AXI 檢測設備機會確認 | 供應鏈定位 | ⭐⭐ | 定錨:蔚華科為主要代表台廠 |
| 2026 年底 | Semco、欣興各有機會出一台 | 放量 | ⭐⭐ | 客戶仍在洽談階段,接單不穩定 |
| 2027 | Semco 小生產線 1,000 片/月 投產 | 放量加速 | ⭐⭐⭐ | 需雷射 / 蝕刻 / 電鍍站各一台 AOI(共 3 台) |
| 2027 預期 | 量產機問世(每層同時測、頂規 1 億) | 技術下線 | ⭐⭐⭐ | RD 機 + 量產機並存需求 |
→ 跨公司比較詳見 時程_2026_先進封裝產能
供應鏈位置
- 上游:雷射光學模組、CMOS / CCD 感測器、光機系統(部分自研,子公司南方科技負責光學影像)
- 下游:玻璃基板廠、IC 載板廠、OSAT、memory 廠
- 製程環節:TGV / TSV 雷射斷層檢測、玻璃內部裂痕量測
- 同段同業:3455_由田(櫃)(玻璃載板 AOI,台廠優勢段)
- 客戶分層:玻璃基板廠測雷射改質 / 蝕刻 / 電鍍三節點;載板廠測增層;OSAT 測來料
- 所屬供應鏈:供應鏈_玻璃芯基板
相關公司
| 公司 | 關係 | 說明 |
|---|---|---|
| 3455_由田(櫃) | 同段同業 | 玻璃載板 AOI 台廠;蔚華以雷射斷層切入玻璃內部裂痕檢測 |
| 4768_晶呈科技(櫃) | 供應鏈夥伴 | Nomura 報告稱 Spirox 與 Ingentec(晶呈)合作 TGV formation |
| GLW.US(corning) | 客戶 / 洽談 | TGV 與 Glass Bridge 光波導 / 光纖耦合檢測;量大但 guideline 未定 |
| 009150.KR(semco) | 客戶 | 三星電機;2027 小生產線需 3 台 AOI,進度最明確 |
| 3037_欣興(市) | 客戶 | 載板廠;2026 年底有機會出一台 |
| 6770_力積電(市) | 客戶(TSV) | 2026-04 已出一台頂規機台 |
風險與注意事項
風險
- 接單不穩定:TGV 客戶多處於「拿產品來檢驗 → 再洽機台合約」階段,短期訂單能見度低。
- 客戶 guideline 未定:康寧、Intel 稱量大但無明確時程;玻璃基板量產節奏牽動營收。
- 代理本業衰退:測試設備代理受中國競爭、毛利僅 10~15%,需靠自研檢測機台撐起獲利結構。
- 資料來源單一:本頁主依 2026-06-04 私訪 memo,財務數字(EPS / 營收占比)待後續補齊。
來源
- memo_蔚華科_私訪_20260604
- 260521_nmr_semi-renaissance(Nomura,Spirox + Ingentec 合作 TGV formation 佐證)
- 定錨_2026年中產業趨勢講座_MEMO(4) — 定錨 2026 年中講座,2026-06-12;玻璃基板 AXI 檢測設備
- memo_蔚華科_線上_20260623 — 2026-06-23 線上法說;8000G / 8000S 系列命名、CE / SEMI-S2 認證、專利布局、4Q26 TGV 出貨時程與商業談判進度