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真空壓膜機

更新 2026-08-11

定義

真空壓膜機(Vacuum Laminator)是 ABF / FC-BGA / IC 載板 build-up 製程中的核心設備,在真空環境下以熱壓方式將 ABF(Ajinomoto Build-up Film)等增層介電材料均勻貼附於基板表面,是決定多層載板良率與可靠度的關鍵步驟。真空環境可避免膜貼附過程產生氣泡;壓力與溫度曲線的精密控制則決定膜厚均勻性、皺折與線寬填補能力。此設備市場由 7795_長廣(市)(原長興集團電子材料事業部設備組,整合日本 Nikko-Materials 技術)高度集中,長廣自陳全球高階真空壓膜機市占約 95%。

圖解

flowchart LR
  AI[AI GPU / CPU / ASIC] --> PKG[先進封裝載板需求]
  PKG --> ABF[ABF / FC-BGA substrate]
  ABF --> LAM["真空壓膜(Vacuum Lamination)<br/>Pre-lamination → Vacuum Lamination → Planarisation"]
  LAM --> STAGE{機型}
  STAGE -->|單段/兩段| LOW[中低階載板]
  STAGE -->|三段式 45噸/90噸| HIGH[高階 AI 載板]
  STAGE -->|四段式| ORG[新有機介層材料驗證]
  STAGE -->|圓形壓著機| WEHA[晶圓級 WEHA 應用]
  HIGH --> SUB[欣興 / 南電 / 景碩 / 臻鼎等 ABF 載板廠]

圖說:真空壓膜機是 ABF build-up 製程中承接介電膜貼附的關鍵設備,依機型(段數/噸位)對應不同載板應用等級。

技術原理

真空壓膜製程一般包含三個連續腔室:Pre-lamination(預貼合)→ Vacuum Lamination(真空層壓,加熱板+膜片加壓)→ Planarisation(整平)。核心技術升級沿三個方向推進:

  • 段數(Stage):單段式、兩段式為中低階應用;三段式在第二段壓模後多一道「整平」功能,能有效控制膜材溢膠與高層數板的平整度誤差,是高階客戶認證合格的關鍵——三段式與兩段式的主要差異即在良率,而非壓力大小。四段式是更新一代機型,用於配合次世代有機介層材料的設備測試與參數調整(如 Resonac 主導、27 家材料商參與的 Join3 計畫)。
  • 噸位(45 噸 vs 90 噸):次世代 Low Dk / Low CTE ABF 材料更硬、封裝面積更大、層數更高,需要更高壓合力;90 噸三段式為旗艦機種,ASP 與毛利率均顯著高於傳統 45 噸機型。壓力需求提升的主因是膜材流動性差、成數增加需加強線寬填補,與玻璃或其他新材料本身無直接關係。
  • 形狀(方形 → 圓形):傳統壓合機專精方形 panel;圓形壓著機(Circular Laminator)是新開發方向,對應晶圓級(WEHA-format)壓膜應用,Demo 機預計 2027Q1 推出。

關鍵參數 / 判斷指標

指標 意義 觀察重點
段數(單/兩/三/四段) 良率與客戶認證等級 三段式為高階載板認證門檻;四段式對應新材料驗證
噸位(45 噸 vs 90 噸) 壓合力與材料相容性 90 噸為次世代 Low Dk/Low CTE 材料與大面積高層數載板的必要條件
ASP/毛利率 機型溢價幅度 90 噸 ASP 與毛利率均高於單段/兩段式(詳見 7795_長廣(市) 財測假設)
訂單轉收入時滯 設備出貨到營收認列的落後期 出機到安裝驗收約需 2 個月;客戶簽收後月底集中認列,接單到認列常滯後 6-8 個月
材料相容性(ABF / 玻璃 / 有機介層) 應用延伸方向 玻璃基板需求 0.1-1.8mm 厚度不破損驗證;四段式對應新有機介層材料

應用場景

  • ABF / FC-BGA / IC 載板 build-up 製程:主力應用,對應 AI GPU、CPU、ASIC 封裝載板。
  • IC 嵌入封裝(EMIB-T):真空層壓+模塑封裝技術,配合美系大廠開發次世代 IC 載板設備,將晶片嵌入封裝內部以降低訊號損失。
  • 玻璃基板(Glass Core / Interposer / Carrier):已完成 0.1-1.8mm 厚度玻璃不破損驗證,但受限於 Glass Core 加工與檢測課題,量產最快 2030 年起。
  • 晶圓級壓膜 / FOPLP:片裝膜材取代液態封裝材料的新市場方向,最快 2027 年出貨;圓形壓著機對應晶圓級應用。

技術瓶頸 / 風險

  • 客戶認證壁壘高:載板廠一旦導入量產線,替換設備供應商不容易;長廣與 Ajinomoto ABF 材料深度綁定形成技術護城河。
  • 產能與交期敏感:設備屬資本財,訂單轉收入滯後 6-8 個月;產能滿載時交期由 5-6 個月拉長至 12-18 個月甚至逾 30 個月(新客戶標準交期)。
  • 新材料驗證周期長:玻璃基板、次世代有機介層材料等新應用仍在客戶認證階段,商業化時程具不確定性。
  • 地緣與產能佈局:日本產能(知立廠)已達物理上限(月 18 台),須透過 OEM 協力廠商與新廠(豐田市,目標 2029Q2 前完工)擴充;中國廣州廠聚焦中低階兩段式機型,三段式高階設備暫無外移計畫。

關鍵廠商

環節 廠商 角色
高階真空壓膜設備(近乎壟斷) 7795_長廣(市) 全球高階真空壓膜機市占約 95%(自陳,多家券商供應鏈查核佐證);整合日本 Nikko-Materials 技術
日系競爭者 Meiki Plant(住友重工/日本鋼鐵工所 JSW,5631.JP) 日本本土供應商,技術較接近長廣,但市場認證時間尚不夠長
台廠中低階競爭者 2467_志聖工業(市)(C Sun) 主攻 PCB/先進封裝壓膜與烘烤,與長廣在中國低中端市場有交集
台廠中低階競爭者 6664_群翊(櫃)(Group Up) 主攻 PCB 與顯示器低端壓膜,與長廣在中國低中端市場競爭

相關技術

供應鏈

來源

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