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Photonics_SOI晶圓

更新 2026-10-23

定義

Photonics SOI(Silicon-on-Insulator for photonics,光子 SOI 晶圓)是 技術_SiPh PIC(Photonic Integrated Circuit,光子積體電路)的核心基板。其結構是在矽基板上方加入埋藏氧化層(buried oxide),再形成 220nm/400nm 等矽元件層,讓光在矽波導中被侷限與導引,作為光收發器與 技術_CPO 光學引擎的 PIC 平台。

相較 技術_InP磷化銦,Photonics SOI 不負責高效率發光,而是提供可用 CMOS/DUV 製程放大的矽光子平台;兩者在光通訊材料中互補,也部分替代。野村指出 InP PD/InP PIC 的部分需求,會被 Ge-on-Si 與 photonics SOI wafer 取代。

圖解

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圖說:SOI-based PIC platform。埋藏氧化層上方的矽元件層形成波導與光子元件,是 SiPh PIC 的基礎平台。

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圖說:不同基板/晶圓成本長條圖(美元,各基板依常見尺寸比較,非同面積換算):Photonics SOI(12 吋)約 $1,400、GaAs(6 吋 pHEMT)約 $800、FD SOI(12 吋)約 $700、SiGe(8 吋)約 $650、InP substrate(3 吋)約 $350、RF SOI(8 吋)約 $250、Silicon wafer(12/8 吋)約 $150/$80。野村估 photonics SOI wafer 價格約為 InP 基板的 4 倍(方向與尺寸差異已核對修正),ASP 約為一般 12 吋矽晶圓的 10 倍。

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圖說:Photonics SOI wafer 供需趨勢。繼 InP 基板 2H25 缺貨後,CPO 帶動的 PIC 面積需求使 photonics SOI 供給可能自 2027F 起吃緊。

技術原理

Photonics SOI 的核心價值在於把光子元件放到可規模化的矽晶圓平台上。典型結構包含:

  1. Handle wafer:提供機械支撐,通常是矽基板。
  2. Buried oxide(BOX):低折射率氧化層,將光侷限在上方矽層內。
  3. Silicon device layer:常見厚度為 220nm/400nm,用於形成波導、耦合器、分波多工與調變相關結構。
  4. 異質整合材料:依設計加入 Ge-on-Si PD、InP-on-Si 光源整合、SiN 低損耗波導或 LiNbO₃ 調變器等。

在光收發器材料分工中,Photonics SOI 主要負責 PIC(SiPh)平台,與 InP 的 EML/CW 雷射、Ge-on-Si 的 PD/EIC、GaAs 的 EIC driver、LiNbO₃ 的 PIC 調變器共同組成先進光收發器。

關鍵參數 / 判斷指標

指標 意義 觀察重點
矽元件層厚度 決定波導模式、耦合與製程平台 220nm/400nm Si device layer
相對價格 與 InP 基板比較成本 約為 InP 基板(3 吋)的 4 倍(12 吋 wafer 價格約 $1,400 vs InP $350,非同面積換算)
ASP 反映小量高值材料屬性 約為一般 12 吋矽晶圓 10x
PIC die size 決定 CPO 對 SOI 晶圓消耗量 CPO 用 PIC die 可達 50–100mm²
供需時點 判斷上游材料瓶頸 InP 基板 2H25 缺貨後,Photonics SOI 可能 2027F 起吃緊
主要應用 需求放大來源 1.6T 光收發器、SiPh 遷移、CPO 模組

技術瓶頸 / 風險

  • 量小但 dollar content 高:到 2030F,全球 photonics SOI wafer 需求量仍可能只占總 12 吋半導體晶圓需求很小比例,但 ASP 顯著高於一般矽晶圓,投資價值更偏向高單價材料而非大量 commodity wafer。
  • 供給反應慢:Photonics SOI 需符合光學規格與 foundry 平台要求,不是一般 SOI 產能可無痛轉換;若 CPO PIC die 面積放大,2027F 後供給可能轉緊。
  • 與 InP 互補又替代:InP 仍是 EML/CW 雷射核心材料,但 InP PD/PIC 的部分需求會被 Ge-on-Si 與 photonics SOI 分流。
  • 非光子 SOI 景氣循環不同:RF-SOI、FD-SOI、Power-SOI 過去一年多受手機與車用需求疲弱拖累;近期因客戶擔心 AI 應用排擠產能而回補庫存,整體 SOI 市場復甦比野村原先預期更快。

關鍵廠商

環節 廠商 角色
SOI 晶圓龍頭 SOI.FP(soitec) 全球 SOI 龍頭,野村估約 70% 市佔;本輪另建公司頁追蹤
SOI / 半導體晶圓 6488_環球晶圓(櫃) GlobalWafers,光子 SOI 潛在受惠者之一
SOI / 美國在地供應 6488_環球晶圓(櫃) 密蘇里州產線 DIGITIMES 2026-05-26 報導,12 吋 SOI 為全美唯一產線,waiting list 最長
SOI / 台灣本土新進者 6182_合晶(櫃) 利用既有拋光片產線局部擴充 Oxide/Bonding 製程;矽光子新客戶主力鎖定光傳輸領域;目標 SOI 營收比重 4~5% → 10%+,2026 有望倍增;CAGR 50%+(管理層估)
SOI 晶圓 NSIG/Simgui 中國 SOI 供應商,供給端變數
SOI 晶圓 Shin-Etsu 日本半導體晶圓大廠,具 SOI 供應能力

供需展望(野村 2026-05-21)

  • 需求驅動:1.6T 升級、SiPh 遷移、CPO 模組與光學引擎採用。
  • 成長率:野村在 Fig. 4 將 Photonics SOI(SiPh)列為 2025–2030F CAGR >30%,高於 InP 材料。
  • 啟動時間:成長動能晚於 InP 基板,主要由 2027F 後 CPO 使用的 SiPh PIC 拉動。
  • 供給壓力:CPO module 的 PIC die size 可達 50–100mm²,2027F 起開始消耗更有意義的 SOI 晶圓面積;野村預期在 InP 基板 2H25 缺貨後,photonics SOI 可能成為下一個吃緊材料。
  • 環球晶 2026 股東會驗證:web_DIGITIMES_環球晶方形晶圓_20260526 提到密蘇里州 SOI 是環球晶最熱門產品之一,waiting list 最長;8 吋 SOI 需求穩定,12 吋 SOI 為全美唯一產線,客戶催貨積極。這與野村對 photonics SOI 2027F 起供需轉緊的判斷方向一致。

供給端:Soitec 的產能布局與規格

  • 200mm→300mm 的遷移:Soitec 稱 200mm 適合可插拔與傳統製程節點,目前已滿載供應光子;300mm 加速擴張,理由是可擴大量產、微影更佳,且 CPO/光 I/O 需要接上先進封裝。法國 300mm 廠(B2、新增 B4)與新加坡 PR1 300mm SOI 廠並進,PR1 講者稱已開始量產出貨光子產品。
  • 規格能力:Smart Cut 把頂層矽厚度控制在原子級,標準品均勻度約 1.4 nm、客製專案可達 0.1 nm;BOX 依邊緣耦合與否採不同規格;handle wafer 控制 BMD 密度以利 3D 堆疊。
  • 在異質整合中的角色:光子 SOI 為「通用矽光子載板」,之上疊 LNOI(TFLN 調變器)與 InPOSi(雷射、放大器、光電二極體);單 lane 更高調變速度、更低 pJ/bit、光子中介層整合更多元件是三項驅動。細節見 SOI.FP(soitec)、技術_TFLN薄膜鈮酸鋰、技術_InP磷化銦。

應用場景

  • 800G/1.6T SiPh 光收發器 PIC
  • CPO module/CPO switch optical engine
  • Pluggable SiPh PIC 與 NPO/CPO 光學引擎
  • Ge-on-Si PD、InP-on-Si 光源與 LiNbO₃ 調變器等異質整合平台

相關技術

供應鏈

來源

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