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TCV

更新 2026-07-25

定義

Through Ceramic Via(陶瓷通孔),在陶瓷基板(氮化矽 Si₃N₄/氮化鋁 AlN)上以雷射直接鑽孔製作垂直導通孔,之後金屬化導通。與 TGV 同屬垂直互連通孔技術,但定位不同:TGV 是訊號驅動(高密度封裝),TCV 現階段主要是散熱驅動——在玻璃基板技術完全成熟前,陶瓷憑散熱性與異形孔能力作為替代/並行方案(雷科法人交流會 2026-07-24)。

TCV vs TGV 製程對照

項目 TCV(陶瓷) TGV(玻璃)
成孔機制 直接雷射鑽孔(不做改質;雷射熱燒蝕) 雷射改質 + 化學蝕刻(LIDE 等)
孔型 圓孔+多種異形孔(不規則孔可做) 基本只能圓孔(上下貫穿;異形孔受限)
產出效率 慢:AMD 樣品陶瓷厚 250-320μm 每秒約 6-10 孔,7.5 吋板約 20 分鐘(高精度加工限制) 快:改質每秒約數千孔(但後段仍有金屬化、填孔、CMP)
散熱 佳(陶瓷本質優勢) 較差
設備單價 約 NT$2,500 萬以上 玻璃改質段約 NT$3,000-4,000 萬
設備需求量 加工慢 → 同產能需要更多台設備 較少

來源:雷科法人交流會 2026-07-24(Q16/Q18);agy 搜尋補充(2026-07-25,信心中):TCV 孔壁粗糙度較高、AR 約 5:1-10:1;TGV 孔壁平滑、AR 可 >10:1-20:1;兩者基材皆絕緣、免絕緣層製程。

陶瓷材料路線:氮化鋁 vs 氮化矽

  • 雷科(2026-07-24):TCV 鑽孔材料主流原看氮化鋁與氮化矽並列,現收斂向氮化矽
  • agy 搜尋補充(2026-07-25,信心中):AlN 側重熱通量極大化(AI 伺服器 GPU 散熱、800G/1.6T 光收發模組、5G/6G RF);Si₃N₄ 側重機械應力與熱循環可靠度(車規 SiC 功率模組 AMB 基板主流),導熱率研發已提升至 120-170 W/m·K,逐步彌補與 AlN 差距;高階功率模組趨勢為 AMB(活性金屬焊接)替代 DBC

應用與時程

  • 散熱陶瓷基板:玻璃技術成熟前的替代方案,產品設計納入陶瓷方案;明確不是 interposer 應用(雷科 2026-07-24 答覆)
  • 日本客戶送樣中,採用意願增加、pattern 為大公司需求;AMD 樣品規格(陶瓷 250-320μm)已出現
  • 時程(雷科):12M26 先出部分設備 → 4Q26 開始出貨 → 10-11M26 洽談 2027 大單(約 NT$3-5 億)→ 1Q27 首批陶瓷散熱設備交機;規模較大訂單 2027 確認

技術瓶頸

  • 陶瓷鑽孔速度慢(高精度限制),產出效率遠低於玻璃改質,設備台數需求高但單線 throughput 低
  • 最難在雷射鑽孔段(雷科:TCV 最難是雷射這塊,故設備單價高)
  • 關鍵零組件缺料:雷射頭、高精度光學尺交期 5→8 個月,影響設備交付

相關公司

公司 角色
6207_雷科(櫃) TCV 陶瓷雷射鑽孔設備(直接鑽孔、異形孔);日本客戶送樣中

來源

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