技術_TCI近場無線互連
定義
TCI(ThruChip Interface)是一種近場無線互連技術,用片上線圈(on-chip coils)產生磁場,以電感耦合讓垂直堆疊的晶片彼此通訊,作為傳統 TSV(矽穿孔)+微凸塊有線互連的替代路線。學術來源為東京大學黑田忠廣(Tadahiro Kuroda)實驗室(Kota Shiba、Atsutake Kosuge、Mototsugu Hamada 等),是 技術_3D堆疊SRAM 在來源論文中的核心使能技術。
關鍵優勢:線圈可用標準 CMOS 製程製作,省去 TSV 額外製程步驟,並可免除 ESD 保護電路、keep-out zone(KOZ)與 level shifter,因此成本較低、良率潛在較高。
圖解

圖說:TSV vs TCI 對照——TSV 為機械式、需額外製程步驟、外加成本 > 40%、需專屬區域(KOZ)、速度 < 256 GB/s、需 ESD 保護、功耗高;TCI 為電氣(數位)式、標準 CMOS、外加成本僅數 %、擺放不受限、速度 > 512 GB/s、免 ESD、功耗低、良率近 100%。
技術原理
TCI 以片上線圈產生磁場,透過堆疊晶片進行感應式通訊。由於線圈以標準 CMOS 製程製作,避免了 TSV 所需的矽穿孔製程;從製造角度看意味較低成本與潛在較高良率,從架構角度看則代表 3D 堆疊不必完全依賴昂貴複雜的垂直金屬導孔。
TSV vs TCI 對照
| 項目 | TSV | TCI |
|---|---|---|
| 方法 | 機械式 | 電氣(數位)式 |
| 晶圓製程 | 需額外步驟 | 標準 CMOS |
| 封裝製程 | 涉及 OSAT | 傳統封裝 |
| 微縮 | 困難 | 容易 |
| 良率 | 低、難改善 | 高(~100%) |
| 生態系 | 需新模型 | 沿用既有模型 |
| 外加成本 | > 40% | 數 % |
| 擺放 | 需專屬區域(KOZ) | 不受限 |
| 速度 | < 256 GB/s | > 512 GB/s |
| ESD 保護 | 需要 | 免 |
| 功耗 | 高 | 低 |
從 Multi-Drop 到 Multi-Hop:頻寬密度之戰

圖說:多跳(multi-hop)TCI 通道排列——(a) 記憶體系統側視圖、(b) 線圈陣列俯視圖;資料逐層傳遞,使 3D 堆疊記憶體成為「垂直通訊網路」。
- Multi-drop(早期):一個發射器同時對多個接收器送資料。優點是功耗不隨堆疊層數暴增;缺點是層數增加時線圈尺寸須加大,單位面積頻寬下降,面積效率隨層數呈二次(quadratic)衰減。
- Multi-hop(研究轉向):改為逐層傳遞資料,可使用 10µm 級超小線圈,同時改善面積效率與頻寬。3D 堆疊記憶體不再是單純垂直連線,而是一個垂直通訊網路。
趨勢延伸:未來晶片競爭不只在單晶粒設計,而在 die-to-die、chiplet-to-chiplet、memory-to-logic 的拓撲;誰能以最小面積、最低功耗提供最高有效頻寬,誰就在 AI 推論架構取得結構性優勢。
高密度無線互連的新挑戰:串擾(Crosstalk)
當大量線圈同時運作,某通道產生的磁場會干擾鄰近通道,在接收端形成雜訊;被干擾通道稱 victim、干擾源稱 aggressor。要提高頻寬就得在有限面積塞入更多通道,但通道愈密、串擾愈嚴重,形成頻寬、面積效率、訊號完整性三方權衡。
結構化抑制:Shorted Coil + 8-Shaped Coil

圖說:串擾抑制模擬——結合 8-shaped coil 與 shorted coil(150Ω)後,在相同 ISR 條件下線圈節距(pitch)可由 80µm 縮到 40µm,達「50% 更密、面積效率改善 300%(≈4x)」。
- Shorted coil(短路線圈):將未使用的發射線圈以低電阻短路;當磁場通過時產生渦電流,衰減干擾磁場。無需額外金屬層、大幅改 floorplan 或增加製程成本。主要抑制同心排列線圈的串擾。
- 8-shaped coil(8 字形線圈):由兩個反向繞製的矩形線圈組成,利用差動磁場通訊,可抵消鄰近線圈的共模干擾。主要抑制橫向相鄰通道的串擾。
- 合併效果:相同 ISR 條件下,coil pitch 由 80µm → 40µm,面積效率提升約 4 倍——直接解決高密度 3D SRAM 互連的可擴展性問題。
量化效益:堆疊記憶體互連對照

圖說:記憶體堆疊互連對照——DRAM 堆疊以 TCI/HDSV 取代 TSV,5 層下節距由 55µm 縮到 8µm、總高由 ~275µm 降到 ~40µm、IO 能耗/bit < 1/10x、面積頻寬由 ~200 Gb/s/mm² 提升到 ~860 Gb/s/mm²;NAND 堆疊以 TCI/HDSV 取代打線(wire bond)則 IO 能耗/bit < 1/400x。
SemiVision 觀點
TCI 的重點不在「立即取代 TSV」,而是指出一個更大方向:未來先進封裝與 3D 整合不會走單一路線,多種互連技術會依功耗、頻寬、成本、良率、可靠度與應用需求並存。TCI 也反映後摩爾時代的系統整合邏輯——當電晶體微縮放緩,AI 晶片效能提升將更依賴封裝、互連、記憶體階層與資料流設計。
關鍵廠商 / 來源角色
| 環節 | 角色 |
|---|---|
| 學術來源 | 東京大學 黑田忠廣(Kuroda)實驗室——TCI 原理與 multi-hop / 串擾抑制研究 |
| 應用對象 | 技術_3D堆疊SRAM(近運算低延遲記憶體)、堆疊 DRAM/NAND |
| 對照技術 | 技術_TSV(傳統垂直互連)、技術_SoIC(混合鍵合) |
相關技術
- 技術_3D堆疊SRAM(TCI 的主要應用場景)
- 技術_TSV(被替代/互補的傳統垂直互連)
- 技術_SoIC(混合鍵合 3D 堆疊平台)
來源
- 產業_SEMIVISION_3D堆疊SRAM_20260520,SemiVision Research,2026-05-20(capture)
- 東京大學 Kuroda 實驗室 ThruChip Interface 相關論文