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研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_珩石Jason_20261009

更新 2026-10-09

來源:珩石資本同事 Jason(Notion 作者 ID b80e980b)產業研究長文,2026-10-09。Word 原檔(產業|被動對準玻璃微光學橋接器.docx)已轉 Markdown,原檔移 backups/20261009_docx_originals/;同內容 PDF 與 docx 內容相同,已移 backups/2026-10-09_inbox_dup/,不進 Raw_data(見 schema_raw_data「Word 原檔規則」)。解讀對象為 Intel 被動對準玻璃微光學橋接器論文(Psaila et al., JLT 42(15), 2024)。

圖片清單(已驗證 2026-10-09)

docx_convert 共抽出 18 張圖(研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_1 至 _18),md 內原有 20 個 <!-- image --> 佔位(數量不符因論文 Fig.1、Fig.2 在文中各引用兩次:先在「技術分析」摘要段落出現一次,後在「論文技術細節」完整小節再出現一次,兩處嵌入同一張圖)。逐張 Read 後與 PDF 原文 Fig. 1–16 及 Jason 自繪兩張圖逐一比對,20 個佔位全數對應成功,無缺漏。

檔名 對應內容 分類 親眼所見內容
_1.jpeg 論文 Fig.1 真資料圖 16 通道玻璃橋接器組裝於 PIC 3D 渲染:透明玻璃塊內 16 道紅色光束垂直射出,下方為 PIC 基板與橘色走線,右側標示 X/Y/Z 座標軸
_2.jpeg 論文 Fig.8 真資料圖 單一微反射鏡面形殘差分布熱力圖,X/Y 軸 -60~60µm,右側色階尺標示 Residual Error (nm),圖中有白色與紅色虛線橢圓標示 99% 光功率區與光束輪廓
_3.jpeg 論文 Fig.9 真資料圖 組裝過程側視顯微照片,標示「Vacuum pick-up head」「Micro-optic bridge」「Tooling fixture」「PIC」,藍色箭頭示意下壓與前推方向
_4.jpeg 論文 Fig.10 真資料圖 組裝完成後俯視照片(左)+局部放大插圖(右,標示「PIC waveguides」「Mirrors」)
_5.jpeg 論文 Fig.4 真資料圖 近距剖面 3D 渲染:標示「Glass bridge with waveguides and micromirrors」「Micro-optic bridge」「PIC」,左上插圖為紅色光路剖面示意
_6.jpeg 論文 Fig.12 真資料圖 波導橋接器光束輪廓:左為強度分布熱力圖,中/右為 X、Y 方向高斯擬合曲線,標示 34.7µm/31.6µm
_7.jpeg 論文 Fig.13 真資料圖 測試光路示意圖,標示「Periscope」「Waveguide bridge losses」「Input/Output」「Loopback waveguide」「On-PIC Losses」等分區方框
_8.jpeg 論文 Fig.14 真資料圖 四組組裝單程額外損耗盒鬚圖,X 軸 Assembly #1-4,Y 軸 Single Pass Excess Loss (dB)
_9.jpeg 論文 Fig.15 真資料圖 0.25dB 衰減點 vs Assembly # 盒鬚圖,X/Y 兩色圖例,右軸為等效光束直徑 (µm)
_10.jpeg 論文 Fig.16 真資料圖 兩張並排線圖:(a) 光束角度偏差 vs 垂直偏移(三種縱向偏移曲線);(b) 單程額外損耗 vs 光束角度偏差(含實驗上下界虛線)
_11.jpeg 論文 Fig.2 真資料圖 左右對照剖面示意圖:左為「Grating coupler + Microlens」、右為「Edge coupler + Curved micromirror」,紅色光路與藍色 PIC 基座
_12.png Jason 自繪:CPO 光纖對晶片介面技術定位 真資料圖 2×2 象限圖(本文整理,非論文原圖),標題「競爭焦點在右上:被動對準+可拆式介面」,四象限列出 Intel 玻璃橋接器、Corning GlassBridge、Molex/Teramount、SENKO PIC Coupler、FAU+主動對準、光纖直接嵌入 V 槽六項定位
_13.png Jason 自繪:技術落地時程 真資料圖 時間軸方塊圖,標題「被動對準可拆式介面的導入窗口在 2027-2028 年」,列 2024/2025/2026/2027-2028/2029-2030 五個時間區塊與對應事件
_14.jpeg 論文 Fig.3 真資料圖 16 通道玻璃微光學橋接器 3D 渲染,標示「Curved mirror」「Cylindrical protrusions」箭頭指向元件結構
_15.jpeg 論文 Fig.11 真資料圖 測試架構剖面渲染,標示「Glass」「Collimated beam」「PIC waveguide & spot-size converter」「V-grooves」「Trench」,左下角 X/Y/Z 座標軸
_16.jpeg 論文 Fig.5 真資料圖 左右並排線圖:左為 Excess loss vs Lateral misalignment(9.2/25/35/45µm 四條曲線,標示 1.1/3.0/4.2/5.4µm 虛線);右為 Excess loss vs Angular misalignment 同四條曲線
_17.jpeg 論文 Fig.6 真資料圖 剖面比例圖,標示橋接器寬 2.55mm、突出高度 0.35mm、總厚 0.5mm,文字框「Micro-optic bridge」「PIC」
_18.jpeg 論文 Fig.7 真資料圖 製作完成橋接器底側顯微照片,標示「Curved mirror」「Cylindrical protrusion」箭頭,左下角比例尺「1 mm」

18 張皆為真資料圖,無裝飾/logo/banner/純文字卡混入;嵌入時論文 Fig.1、Fig.2 各重複嵌入兩處(對應原文兩次引用),其餘 16 張各嵌一處,20 個佔位全數對應。

原始內容

產業報告|CPO 光耦合新路線:Intel 被動對準玻璃微光學橋接器

Oct 9, 2026 · @Jason

本次研究的出發點 :

核心觀點:CPO 已於 2026 年下半年進入量產,下一個瓶頸從「做出光引擎」移到「把光纖便宜、穩定地接上晶片」。本文 Intel 的被動對準玻璃橋接器屬於「免主動對準、可拆式、晶圓級」的光耦合路線,代表的是 2028 年以後的第二代 CPO 封裝方向,而非 2026–2027 年的營收題材。

  • 流程優化 :以玻璃微光學件卡入 PIC 既有光纖 V 槽,取代逐通道主動對準;擴束至約 30 µm,橫向公差放大約 4 倍(1.1 → 4.2 µm @0.25 dB),以便釋放良率。
  • 產業位置 :Intel 已於 ECTC 2026(2026/5)發表後續兩篇論文,把「玻璃耦合器+可拆式擴束連接器」推向量產設計;Corning 的 GlassBridge 與 Molex(Teramount,已被併購)為競爭對手。
  • 時程判斷 :第一代 CPO(NVIDIA Spectrum-X、Broadcom Bailly/Davisson,皆採台積電 COUPE)仍以 FAU+主動對準為主;被動對準可拆式介面預估 2027–2028 年隨 1.6T/3.2T 世代導入,Intel 自家玻璃基板+CPO 預估約 2029–2030 年。
  • 技術瓶頸 :單程 1.32 dB 仍偏高;V 槽濕蝕刻造成的數 µm 垂直偏移、擴束帶來的角度公差收緊、可拆式介面的汙染與重複插拔可靠度,以及「誰來量產」的生態系問題。

下文開始主要是閱讀後的筆記整理與思考,對於原文的筆記與註解將會在後段呈現。

技術分析

研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_1

Fig. 1 通道玻璃橋接器組裝於 PIC:光自邊緣耦合器射出,經玻璃內彎曲鏡轉為垂直、擴束後向上輸出。

比較項目 現行主流:FAU+主動對準 本技術:被動對準玻璃橋接器
對準方式 六軸平台演算法找光、對準、鎖定,每模組需數十上百次 機械卡入 V 槽,免通光對準
光斑大小 約 9 µm(單模光纖 MFD) 擴束至約 30–35 µm
0.25 dB 橫向公差 約 1.1 µm 約 4.2 µm
出光方向 邊緣水平出光 邊緣耦合器+鏡面轉向垂直出光
接合方式 永久膠合 可拆式連接器
封裝高度 — 0.35 mm,減薄後 < 100 µm
損耗 依廠商而異 雙鏡面潛望鏡單程額外損耗平均 1.32 dB

Fig. 2 — 左為傳統 PIC 頂面微透鏡;右為本技術在面內擴束後轉向,高度只取決於鏡面高出 PIC 的部分。

  • 差異處 :同時拿到邊緣耦合的低損耗、寬頻、雙偏振,與垂直耦合的易測試、可做 2D 陣列,且不額外占用高度。
  • 製造方法 :超短脈衝雷射直寫玻璃+晶圓級蝕刻+CO₂ 雷射拋光;材料為 CTE 3.25 ppm/K 的硼矽玻璃,與矽匹配。

產業影響

影響集中在 CPO「最後一毫米」:光耦合從客製化、逐顆對準的工站製程,轉向標準化、晶圓級、可拆式的元件,價值鏈從設備商往玻璃微光學與連接器廠移動。

1. CPO 已量產,瓶頸轉向光耦合

  • TrendForce(2026/7/27)指出 CPO 已進入量產:NVIDIA 開始向特定夥伴出貨 Spectrum-X CPO 交換器(與台積電共同開發、採 COUPE 封裝),Broadcom 51.2T Bailly 持續出貨;預期 2027–2028 年進入放量期。 TrendForce
  • 台積電先進封裝整合處長侯上勇點出 CPO 擴產三大挑戰:晶圓級測試、光纖陣列(FAU)整合、高速光學封裝組裝。 TrendForce

2. 對成本與良率的意義

  • 現行 FAU 若在封裝時對歪,整顆晶片報廢,因此必須搭配預測試與主動對準設備。
  • SENKO/Aerotech/Santec(2026/1)指出每個 CPO 模組可能需 100 次以上主動對準,單次約 1 秒可達最佳值 0.2 dB 內。 SENKO
  • 被動對準把「通光對準工站」換成「取放+固化」,理論上可沿用一般封裝的 pick-and-place 流程,理論上可降低每埠設備折舊與節拍時間。

3. 可維修性

  • 擴束介面放寬公差,是detachable/pluggable連接器的前提;Intel、Corning、Molex 皆往此方向。
  • 對資料中心營運而言,光纖端可現場更換,降低 CPO 交換器的維運風險。

4. 對封裝與散熱架構的意義

  • 保留邊緣耦合、但改為垂直出光:IC 頂面仍可放散熱方案;光纖可從上方接入,不再受晶片邊長(shoreline)限制,並可走 2D 陣列。
  • 與浸沒式冷卻相容(需先做鏡面鍍膜避免影響訊號)。

5. 市場規模

  • Yole Group 預估 CPO 模組產值年增 137%,2033 年達 81 億美元(DIGITIMES 2026/1/13 引述)。 DIGITIMES
  • 市場預期 2027 年光引擎出貨量達數百萬至數千萬顆,2H26–2027 為關鍵放量期(工商時報 2026/7/25)。 工商時報
  • 推論:光引擎數量級放大後,每顆光引擎的光纖對準成本與良率損失將被放大。

誰被取代 ?

本技術替代的是 CPO 內部「光纖如何接上 PIC」的製程與元件,而非取代 CPO 或矽光子本身,2026–2027 年主動對準仍是主流。

被取代對象 現況 本技術的替代方式 備註
六軸尋光 第一代 CPO V 槽被動卡入 光纖端連接器仍可能需一次性主動對準
永久膠合的 FAU 直接耦合 對歪即報廢 擴束可拆式介面,晶片端只裝玻璃橋接器 可拆式是業界共識
光柵耦合器(grating coupler)垂直出光 窄頻、偏振相依 邊緣耦合+鏡面轉向,寬頻、雙偏振 光柵耦合在晶圓測試與部分平台仍具成本優勢
PIC 頂面微透鏡陣列 需垂直高度讓光發散 面內擴束後轉向,高度更低 -
刻面接合微透鏡陣列 需高精度主動對準 被動對準 -
外加反射鏡晶粒的折疊光路方案 突出 PIC 表面較高 單一玻璃件完成轉向+準直 -
  • 神聖不可分割的部分 :雷射光源、光引擎(PIC/EIC)、光纖本身與資料中心布線;V 槽仍需要,只是從放光纖改成放玻璃件。
  • 可插拔光模組 ? :取代可插拔光模組的是 CPO 整體架構,本技術只是讓 CPO 更容易量產、維修,間接加速替代。

跟誰競爭

Corning 與 Molex(Teramount)與Intel都押注被動對準+可拆式,差異在材料與製造路線。

研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_12

CPO 光纖對晶片介面技術定位 · 2 軸 × 6 方案

第一代 CPO 停在左下(永久膠合+主動對準);各家競逐的是右上象限,Intel 與 Corning 同樣用玻璃、同樣相容 PIC 既有 V 槽,正面對決。

陣營 耦合方式 對準 可拆
Intel 邊緣耦合+玻璃內彎曲鏡垂直擴束;另有玻璃扇出耦合器+擴束邊緣連接器 被動(V 槽) 是
Corning GlassBridge 玻璃波導邊緣耦合 被動(相容 GF 的 V 槽) 是
Molex/Teramount 自對準光學介面(PhotonicPlug/PhotonicBump) 自對準 是
SENKO+Aerotech+Santec 可拆式 PIC Coupler 主動(PICAlign,<1 秒達最佳值 0.2 dB 內) 是
Sumitomo Electric 玻璃基板+3D 列印垂直擴束透鏡(VCBEL) 放寬至覆晶 ±3 µm 公差 未揭露
現行 FAU+主動對準 光纖陣列直接耦合 主動 否
  • 競爭關鍵變數 :誰能先被台積電 COUPE 或 NVIDIA/Broadcom 下一代 CPO 採為標準介面;技術指標以單通道插入損耗、重複插拔損耗變異、單次組裝時間為關鍵。

何時落地

被動對準可拆式介面最早在 2027–2028 年 CPO 放量期進入驗證與小量導入;Intel 自家版本若綁定玻璃基板,則要到約 2029–2030 年。目前無任何公司公布本技術的量產時程。

研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_13

難處在哪

被動對準的精度要靠上游製程公差來保證:V 槽、玻璃件、膠層任何一項偏差數 µm,損耗就跳升,且無法在組裝時以通光補償。

1. 技術邏輯

難點 資料證據 影響
損耗偏高 單程額外損耗平均 1.32 dB(4 組介於 1.13–1.62 dB) CPO業界人士判斷需降到 1 dB 以下才具競爭力
垂直偏移 V 槽濕蝕刻寬度變異造成數 µm 深度偏移;約 2 µm 即足以影響損耗 需上游 PIC 製程公差配合,或設計偏置補償
角度公差收緊 擴束後角度公差變小;1 µm 垂直偏移約造成 0.25° 偏差 擴束解決橫向問題,卻把壓力轉到角度與平整度
光束大小變異 邊緣耦合器 Z 向數值孔徑難控制,貢獻最高 1.0 dB 依賴 PIC 端製程一致性
未鍍膜 TIR 鏡面 黏膠或冷卻液沾到鏡面即失效;組裝須避免 IME 流入空腔 量產需加鍍膜,增加製程步驟

2. 量產思考

  • 量測為間接法:PIC 只有 loopback,光束直徑由失準靈敏度回推;測試介面本身仍需主動對準。
  • 雷射直寫玻璃的產能與成本
  • 額外挑戰:重複插拔、灰塵汙染、端面清潔,在擴束系統中對角度與粒子更敏感。

3. 生態系

  • 標準未定 :Intel、Corning、Molex(Teramount)、SENKO、Sumitomo 各有介面方案,尚無統一機械/光學規格,客戶難以多源採購。
  • 平台綁定 :NVIDIA 與 Broadcom 第一代 CPO 均建於台積電 COUPE;Intel 方案若要被採用,需相容於非 Intel 的 PIC 與 V 槽設計。

論文技術細節

一、摘要與關鍵數據

此技術志在解決 CPO 封裝內「低損耗、高良率、低高度」光耦合的三大目標:

擴束放寬公差、被動對準省去主動對準設備、面內擴束壓低高度。

  • 問題

    • 封裝內空間受限,需可靠且低損耗的光耦合,才能支撐高良率CPO。
    • 傳統擴束須在 PIC 上加裝大型微光學晶粒,明顯增加組裝總厚度。
    • 微光學晶粒通常需亞微米級精密對準系統放置。
  • 解法 :玻璃微光學橋接器(glass micro-optic bridge),利用 PIC 上既有的機械對準特徵(光纖 V 槽)被動放置。

    • 內含彎曲微反射鏡,使光垂直進出 PIC。
    • 沿用既有低損耗邊緣耦合器(edge coupler),並便於高速光學測試。
    • 橋接器自帶機械對準特徵,組裝流程簡化、公差放寬。
  • 成果 :擴束至約 30 µm;經雙反射鏡潛望鏡(periscope)耦合,平均額外損耗 1.32 dB。 | 指標 | 數值 | 備註 | |-------------|------------------------------------------|-----------------------------| | 通道數 | 16 通道(1D 陣列) | 對應 PIC 上 16 條 V 槽 | | 橋接器尺寸 | 5.2 × 2.5 × 0.5 mm | 組裝後突出 PIC 約 0.35 mm | | 減薄潛力 | 突出 < 100 µm | 組裝後減薄,晶圓級組裝適用 | | 玻璃材料 | 硼矽玻璃,CTE 3.25 ppm/K | 與矽匹配 | | 邊緣耦合器 MFD | 約 7 µm | - | | 設計準直光束直徑 | 35 µm | 橫向/角度公差折衷 | | 實測光束(波導橋接器) | 34.7 × 31.6 µm | 1310 nm、近高斯 | | 擴束大小 | 約 30 µm | 由失準靈敏度間接推估 | | 出光角 | 偏離法線 8° | 抑制未鍍膜面背向反射 | | 拋物面像距 | 189.4 µm | - | | 拋物面尺寸 | X 85 µm × Y 105 µm,Z 深約 105 µm | - | | 鏡面面形殘差 | 最大 51.7 nm(< λ/20 @1310 nm) | 99% 光功率區 53.2 × 73.4 µm 橢圓內 | | 表面粗糙度 Sa | 180 nm → 27 nm | CO₂ 雷射拋光前後 | | 橋接器至耦合器刻面距離 | 目標 14 µm | 以 PIC 機械硬擋止定位 | | 單程額外損耗 | 1.62/1.23/1.13/1.29 dB(#1–#4),平均 1.32 dB | 雙鏡面潛望鏡系統 | | 主要損耗來源 | 垂直(Z)偏移約 2 µm | V 槽濕蝕刻寬度變異所致 |

二、產業背景與耦合技術比較

「面內擴束+垂直轉向準直」是兼顧低損耗與低高度的最佳路線,因為它能沿用邊緣耦合器,又不需靠垂直高度讓光束發散。

研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_1

Fig. 1 — 玻璃微光學橋接器組裝於 PIC 上的 3D 渲染圖;16 道光束經橋接器內彎曲微反射鏡垂直向上射出。

1. 產業驅動力

  • AI/ML 需求成長,運算硬體效能愈來愈受限於晶片間互連的頻寬與功耗。
  • 記憶體頻寬與封裝外 I/O 頻寬的擴充,跟不上運算 IC 的擴充速度。
  • 光運算互連(optical compute interconnect)可提供高速、低功耗、低延遲傳輸 [1][2]。
  • 光互連的導入挑戰:光學元件的對準與封裝、光電整合、與既有製程的相容性。
  • 未來同一封裝內的晶粒對晶粒(die-to-die)光互連架構,上述挑戰尤其嚴峻。
  • 封裝內光耦合須同時符合運算 IC 的所有封裝限制與工作環境(散熱、可靠度等)。

2. 面內 vs. 面外耦合

方式 優點 限制
面內(邊緣)耦合 損耗較低、寬頻;不遮擋 IC 頂面,便於安裝散熱方案 受晶片邊緣長度(shoreline)限制
面外(垂直)耦合 不受 shoreline 限制;便於晶圓級測試 [3] 封裝光訊號通常由邊緣出,需微反射鏡陣列或彎曲光纖陣列等轉向元件

3. 垂直耦合結構比較

結構 特性 限制
光柵耦合器(grating coupler) 應用廣,可達相當低的耦合損耗 頻寬窄;多僅支援單一偏振,或須偏振分集設計而增加系統設計難度 [3]
彎曲波導(bent waveguide) 可垂直出光 [3][4][5] 本文未展開比較
微反射鏡(micromirror) 保留邊緣耦合器的寬頻、低損耗、雙偏振特性;沿用傳統面內光斑轉換(spot size conversion)並實現面外出光 需轉向光學元件

4. 對準公差與擴束的必要性

  • 多數輸出耦合結構需亞微米對準公差,導致組裝緩慢且昂貴。
  • 擴束(expanded beam)可放寬對準公差。
  • 光斑或光束直徑變大,也能跨越較長的自由空間傳播距離,降低未導波區段對總損耗預算的貢獻。

5. 既有擴束/準直方案與限制

方案 文獻 限制
直接在 PIC 上產生 > 25 µm 擴束:灰階微影、奈米壓印、3D 列印的彎曲微反射鏡 [5][6][7] 製程挑戰大
PIC 上準直:下發射光柵耦合器+晶圓背面蝕刻或貼附微透鏡;光阻回流半球微透鏡 [8][9][10] 難以用現有 PIC 製程實現,故業界多改用外部微光學
微透鏡陣列直接接合於 PIC 邊緣刻面 [11][12] 需高精度主動對準,組裝複雜度高
微透鏡置於 PIC 頂面 [13][14][15] 可用標準視覺或機械對準,組裝較簡單
反射式準直:彎曲元件做在 PIC 表面,上方加外部反射鏡晶粒形成折疊光路 [16] 以垂直軸提供發散/收斂路徑,外加晶粒須明顯突出 PIC 表面,造成封裝整合的尺寸問題

6. 本文設計思路:面內擴束 → 垂直轉向準直

  • 光束先在面內方向發散擴束,再垂直轉向並準直。
  • 突出 PIC 表面的材料量少,可做成低矮、緊湊的微光學 [17]。
  • 面內擴束本身即可利用邊緣耦合器的面內光斑轉換結構,這在直接面外耦合器上較難實現。
  • 保有寬頻與雙偏振的光學效能優勢。

Fig. 2 — 左:傳統微透鏡陣列接合於 PIC 頂面,搭配光柵耦合器,最小高度由擴束所需的自由空間傳播距離決定。右:彎曲微反射鏡方案,搭配邊緣耦合器,最小高度只取決於光學面高出 PIC 頂面的高度。

7. 相容性與定位

  • 與光學環氧樹脂、底部填充(underfill)等常規組裝流程相容。
  • 鏡面鍍上適當膜層後,可與浸沒式冷卻(immersion cooling)相容。
  • 作者定位:本文與前作 [18] 共同展示「玻璃+雷射直寫」用於矽光子元件低成本、可大量生產組裝方案的能力;本文聚焦單一配置,同技術可延伸到其他型態。

三、微光學橋接器設計(Section II)

橋接器把「對準特徵」與「準直光學面」做在同一片玻璃上,靠 PIC 既有光纖 V 槽定位,因此不需新增 PIC 製程即可被動組裝。

1. 機械對準方式

  • 沿用既有 PIC 設計中、原供光纖被動放置與耦合的 V 型槽(V-groove),作為橋接器的機械對準基準。
  • 替代方案:在玻璃與矽上另行設計專用機械對準特徵,相較本文結構可能帶來顯著的製造或對準優勢。
  • 橋接器晶粒包含三類結構(Fig. 3):
    • 彎曲微反射鏡(curved micromirror)。
    • 圓柱突起(cylindrical protrusion):卡入 PIC V 槽完成被動對準。
    • 其他地形特徵:配合既有 PIC 設計,並確保整個組件的膠層(bond line)厚度一致。
      研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_14

Fig. 3 — 16 通道玻璃微光學橋接器 3D 渲染,含供與 PIC 嵌合的被動對準特徵(彎曲反射鏡、圓柱突起)。

2. 製程與材料

  • 加工技術 :超短脈衝雷射直寫(ultrashort pulse laser direct writing)。

    • 可在玻璃晶圓內直接以高精度微加工任意 3D 形狀,適合製作與矽 PIC 整合的光耦合元件 [18]。
    • 近年已發展為可量產的穩健工業製造技術 [19];產能與成本具競爭力,且有明確的產能提升路徑。
  • 玻璃材料 :硼矽玻璃(borosilicate),熱膨脹係數(CTE)3.25 ppm/K,與矽匹配良好。

  • 製程流程 :
    • a. 晶圓級超短脈衝雷射圖案化與蝕刻。
    • b. 切割(singulation)為單顆橋接器晶粒。
    • c. 光學面以 CO₂ 雷射拋光,降低表面粗糙度,達到低損耗所需的光學面品質 [20]。

3. 圓柱突起設計

  • 外形模仿傳統光纖,但尺寸設計成只有最外側兩個突起實際接觸 PIC。
  • 目的:降低機械過度約束(over-constraint)、減少位置變異,並降低 PIC 與玻璃之間粒子汙染的敏感度。

4. 低高度潛力

  • 組裝後橋接器頂面為平面;光束準直僅由玻璃底側的單一微光學面完成。
  • 因此可在組裝後減薄,晶圓級組裝時尤其適用;可使玻璃突出 PIC 表面 < 100 µm,且不影響光學功能。

5. 陣列配置

  • 本文為 1D 陣列,對應每條 V 槽末端邊緣耦合器的間距與配置。
  • 雷射製程彈性高,鏡面可排成 2D 陣列以提升 shoreline 密度,也可對應更小的邊緣耦合器間距。

6. 光路與鏡面操作

  • 光自邊緣耦合器射出,沿 Y 軸在自由空間發散擴束,再由彎曲微反射鏡轉向並準直(Fig. 4)。
  • PIC 上的溝槽(trench)主要供光學探針測試使用,並非彎曲鏡運作所必需。
  • 本文鏡面未鍍膜,以全內反射(TIR)運作。
  • 可選鍍膜:以濺鍍或電子束蒸鍍做金屬或介電質鍍膜,可在晶圓級、切割前完成 [21]。
    • 好處:保護反射面免受環境影響,降低汙染造成的效能劣化。
    • 允許環氧樹脂或浸沒式冷卻液直接接觸曲面。

Fig. 4 — 玻璃微光學準直器內光路的近距剖面 3D 渲染:PIC 波導與光斑轉換器 → 自由空間擴束 → 彎曲鏡轉向並準直;圖中標示 V 槽與測試用溝槽。

7. 光束直徑的取捨

  • 光束直徑愈大,橫向對準公差愈寬鬆。
  • 但光學系統數值孔徑(NA)隨之下降,使俯仰(pitch)與偏擺(yaw)角度公差變小。
  • 以高斯光束耦合模型計算橫向與角度失準造成的額外損耗(Fig. 5),選定 35 µm 目標光束直徑,平衡橫向公差放寬與可達到的角度對準。
研究_CPO被動對準玻璃微光學橋接器_Jason_20261009_16

Fig. 5 — X-Y 平面橫向失準(左)與角度失準(右)造成的額外損耗計算,光束直徑 9.2 µm(等同未擴束 G.652 單模光纖於 1310 nm 的 MFD)、25、35、45 µm。

光束直徑 0.25 dB 額外損耗對應的橫向失準(讀自 Fig. 5 左) 角度公差趨勢(Fig. 5 右)
9.2 µm 1.1 µm 最寬鬆,2° 時約 1.4 dB
25 µm 3.0 µm 收緊
35 µm(本文選定) 4.2 µm 更緊
45 µm 5.4 µm 最緊
  • 讀圖重點:35 µm 光束相較未擴束光纖,橫向公差放大約 3.8 倍(1.1 → 4.2 µm),代價是角度公差明顯收緊。

8. 光學面設計參數(Ansys Zemax)

  • 設計輸入:目標光束直徑、數值孔徑、邊緣耦合器的標稱出光角,以及目標光束相對 X-Y 平面的角度。
  • 出光角取偏離法線 8°,以抑制未鍍膜光學面的背向反射。
  • 拋物面像距(image distance)189.4 µm,將 MFD 約 7 µm 的邊緣耦合器輸出準直為直徑約 35 µm 的光束。
  • 拋物面尺寸:X 方向直徑 85 µm、Y 方向 105 µm,Z 方向總深約 105 µm。

四、元件製作與鏡面品質(Section III-1)

16 通道橋接器的鏡面面形殘差最大 51.7 nm(< λ/20 @1310 nm),拋光後粗糙度 Sa 27 nm,顯示雷射直寫+CO₂ 雷射拋光可達光學級面形精度。

1. 元件尺寸

  • 製作 16 通道微光學橋接器,含拋物面光學面。
  • 橋接器尺寸 5.2 × 2.5 × 0.5 mm;組裝後突出 PIC 表面約 0.35 mm(Fig. 6,依比例繪製;圖中橋接器寬 2.55 mm 標註)。
  • Fig. 7 為橋接器底側照片,可見微反射鏡與圓柱突起。

Fig. 6 — 微光學橋接器組裝於 PIC 的剖面圖(依比例):橋接器總厚 0.5 mm、突出 PIC 表面 0.35 mm。

Fig. 7 — 製作完成的微光學橋接器底側照片,標示彎曲鏡與圓柱突起;比例尺 1 mm。

2. 鏡面量測方法

  • 儀器:Zygo Nexview NX2 光學輪廓儀。
  • 架設:橋接器傾斜 45° 放置,使鏡面中心正對量測光束。
  • 分析:量得的點雲資料與設計拋物面相減,得到設計對製造(design-to-manufacturing)的殘差。

3. 量測結果

項目 結果
99% 光功率區域 53.2 × 73.4 µm 橢圓(Fig. 8 白虛線)
1/e² 光束直徑輪廓 Fig. 8 紅虛線
區域內最大殘差 51.7 nm,小於 λ/20(λ = 1310 nm,即 65.5 nm)
表面粗糙度 Sa 拋光前 180 nm → 拋光後 27 nm
  • 註:Fig. 8 的 Y 軸定義在鏡面平面內,因此相對橋接器的 X-Y 平面有旋轉。
  • 由圖可見較大殘差(色階偏紅或深藍)集中於 99% 光功率區之外的鏡面邊緣。

Fig. 8 — 單一微反射鏡面形殘差分布;紅虛線為 1/e² 光束直徑輪廓,白虛線為涵蓋 99% 光功率的區域邊界;色階單位 nm。

五、組裝流程(Section III-2)

4 顆橋接器以「下壓入 V 槽+前推頂住硬擋止」完成被動對準,再以 UV 固化,全程不需光學主動對準。

1. 樣品與設備

  • 樣品:4 顆微光學橋接器,分別組裝於含 16 條 V 槽的 PIC;PIC 上為 8 對相鄰通道的 loopback 波導。
  • 設備:手動操作的馬達化組裝工具(自製),含六軸運動平台,以及附垂直力感測器的真空吸頭。

2. 組裝步驟

  1. 以真空吸頭拾取橋接器,放入 PIC 的 V 槽。
  2. 向前(Y 方向)移動,頂住 PIC 上的機械硬擋止(hard-stop),使橋接器到邊緣耦合器刻面達約 14 µm 的目標距離。
  3. 被動對準:將玻璃橋接器向下壓入 V 槽;玻璃可在真空吸頭上側向滑動,自行對位。
  4. 解除真空,UV 固化。

Fig. 9 — 微光學橋接器組裝至 PIC 過程的側視圖(尚未施加 IME);箭頭示意下壓與前推方向。

3. 折射率匹配膠(IME)

  • 材料:Norland NOA 148,折射率 1.48。
  • 施加於邊緣耦合器與玻璃橋接器之間的界面。
  • 須避免 IME 流入空腔並沾到光學面,以維持全內反射運作。

4. 組裝成品

  • Fig. 10 為組裝後俯視照片;插圖透過橋接器頂部,可看到 PIC 邊緣耦合器(波導)與微反射鏡的特寫。

Fig. 10 — 微光學橋接器組裝於 PIC 後的俯視照片;右側插圖為 PIC 波導與鏡面特寫。

六、光學量測方法與損耗結果(Section III-3、III-4)

4 組組裝的單程額外損耗平均分別為 1.62、1.23、1.13、1.29 dB,整體平均 1.32 dB;此值為「兩顆鏡面串接的潛望鏡系統」單程損耗,並非單一橋接器的損耗。

1. 量測限制與替代方案

  • 限制:PIC 只有 loopback 波導,無法逐通道獨立量測,也無法直接量測橋接器射出的光束輪廓。
  • 替代方案:另製一顆含彎曲微反射鏡的玻璃「波導橋接器」作為測試介面。
    • 波導以超短脈衝雷射直寫製作,1/e² MFD 約 6.5 µm。
    • 鏡面與微光學橋接器採相同光學設計;兩者組合成 1:1 成像倍率的潛望鏡(periscope)。
    • 平面玻璃面未鍍抗反射膜;可於晶圓級、切割前輕易加鍍。

Fig. 11 — 以含彎曲微反射鏡的玻璃波導橋接器進行測試的架構;插圖為測試時的潛望鏡光路。

2. 波導橋接器光束輪廓

  • 以校正過的紅外線成像系統量測 1310 nm 準直光束。
  • 光束直徑 34.7 × 31.6 µm(X × Y,1/e²),近高斯分布,與 35 µm 設計值相符。

Fig. 12 — 波導橋接器自由空間光束的正規化強度分布;藍線為高斯擬合,線圖標示 1/e² 光束直徑 34.7 µm(X)與 31.6 µm(Y)。

3. 量測對準與光路

  • 光由光纖陣列 → 波導橋接器 → 微光學橋接器 → PIC,經 PIC loopback 回到相鄰通道,再依原路經兩顆橋接器與相鄰光纖輸出(Fig. 13)。
  • PIC 組件固定;波導橋接器以六軸馬達化對準系統對微光學橋接器做主動對準,以取得並量測最大傳輸訊號。
  • 注意:只有「測試介面」採主動對準;微光學橋接器對 PIC 為被動對準。

Fig. 13 — 測試光路示意:標示波導橋接器損耗、潛望鏡區段,以及 PIC 內 loopback 損耗的切分範圍。

4. 單程額外損耗的計算

L_{\text{single}} = \frac{IL_{\text{loopback}}}{2} - 0.5 - 0.3 - 1.5\ \text{(dB)}
扣除項目 數值
光纖至玻璃波導耦合損耗 0.5 dB
兩個平面玻璃面的菲涅耳反射 0.3 dB
半段 loopback 的 PIC 內損耗 1.5 dB
合計扣除(單程) 2.3 dB
  • 依此反推,平均 1.32 dB 對應的完整 loopback 插入損耗約 2 × (1.32 + 2.3) ≈ 7.2 dB(本文件推算,論文未直接列出)。

5. 結果(Fig. 14)

組裝 平均單程額外損耗 通道分布範圍(讀自 Fig. 14,約略)
#1 1.62 dB 約 1.3–2.2 dB
#2 1.23 dB 約 0.85–1.5 dB
#3 1.13 dB 約 0.8–1.25 dB(另有一離群點約 1.9 dB)
#4 1.29 dB 約 0.9–1.9 dB
整體 1.32 dB —

Fig. 14 — 四組組裝經潛望鏡系統的單程額外損耗盒鬚圖。

七、損耗來源分析(Section III-5)

光束大小變異只能解釋一部分損耗;作者判定約 2 µm 的垂直(Z)偏移造成準直光束角度偏差,是額外損耗的主要來源,且屬可透過設計補償的系統性問題。

1. 光束大小變異(Fig. 15)

  • 方法:刻意讓波導橋接器與微光學橋接器之間失準,以馬達平台編碼器位置回授,量測訊號下降 0.25 dB 時的位移,間接推估微光學橋接器射出光束的直徑。
  • 因 loopback 同時涉及輸入與輸出兩通道,訊號衰減比單通道更陡。
  • Fig. 15 右軸:以高斯耦合模型(代入實測波導橋接器光束直徑)換算 0.25 dB 衰減點對應的等效光束直徑(20–45 µm 參考線)。
  • 讀圖:X 方向 0.25 dB 衰減點約 2.5–2.7 µm,四組一致;Y 方向分散較大(約 2.2–3.5 µm),#2 最寬、#4 最分散。
  • 光束大小變異造成的損耗貢獻上限: | 組裝 | 平均單程額外損耗 | 光束大小變異貢獻上限 | 未解釋部分(本文件推算) | |------|------------|--------------|----------------| | #1 | 1.62 dB | 0.5 dB | 約 1.1 dB | | #2 | 1.23 dB | 0.6 dB | 約 0.6 dB | | #3 | 1.13 dB | 0.1 dB | 約 1.0 dB | | #4 | 1.29 dB | 1.0 dB | 約 0.3 dB |

  • 變異成因:邊緣耦合器在垂直(Z)方向的數值孔徑較水平(X)方向難控制;另有間接量測方法的誤差。

  • 結論:光束大小變異無法解釋大部分額外損耗。

Fig. 15 — 在波導橋接器/微光學橋接器界面刻意失準所得的 0.25 dB 衰減點(藍:X,紅:Y);右軸為換算的等效光束直徑。

2. 橋接器對 PIC 的對準誤差(主因)

  • 垂直(Z)方向 :V 槽以濕蝕刻製作,寬度變異會讓固定半徑的卡入特徵(光纖或圓柱突起)產生深度偏移;依製程流程與蝕刻條件,可達數 µm。
  • 縱向(Y)方向 :來自放置誤差,或 PIC 機械硬擋止本身的變異。

3. Zemax 模擬(Fig. 16)

  • Fig. 16(a):在縱向偏移 0、−10、−15 µm 下,模擬垂直偏移(−6 至 +4 µm)與光束角度偏差的關係。

    • 垂直偏移主要造成準直光束的角度偏差,兩者近似線性(讀圖:0 µm 縱向偏移時,每 µm 垂直偏移約 0.25°)。
    • 縱向偏移使整條曲線平移(−15 µm 時約 +0.35°),即角度偏差亦明顯受縱向對準影響。
  • Fig. 16(b):角度偏差換算單程額外損耗,呈拋物線,最小值約 0.1–0.2 dB;圖中虛線為實驗量測的下界(約 0.7 dB)與上界(約 2.2 dB)。

  • 推論:約 2 µm 的垂直偏移,或約 15 µm 的縱向偏移,即足以造成剩餘的損耗。
  • 判定:組裝時橋接器已推抵靠近耦合器刻面的硬擋止,縱向偏移應遠小於 15 µm,因此垂直偏移最可能是大部分額外損耗的來源。

Fig. 16 — (a) 三種縱向偏移下,光束角度偏差對垂直失準的關係;(b) 單程額外損耗對光束角度偏差的關係,虛線為實驗上下界。

4. 改善方向

  • 若垂直偏移屬系統性:調整鏡面 Z 軸中心相對圓柱突起的位置(簡單的設計偏置 biasing)即可補償。
  • 若為縱向偏移:改善橋接器的縱向定位。

八、結論與產業觀點

論文證明玻璃微光學橋接器可用既有邊緣耦合 PIC 實現被動對準的擴束垂直耦合;對產業而言,關鍵價值在於把 CPO 光耦合從「逐顆主動對準」推向「晶圓級被動組裝」。

1. 論文結論(原文要點)

  • 玻璃微光學橋接器使既有邊緣耦合 PIC 實現擴束垂直耦合。
  • 橋接器對矽 PIC 為被動對準,支援低成本、大量、晶圓級的低高度準直微光學組裝。
  • 邊緣耦合器光束擴至約 30 µm。
  • 經兩個彎曲微反射鏡(潛望鏡配置)耦合進波導橋接器,平均額外損耗 1.32 dB。

3. 主要參考文獻(摘自原文)

編號 文獻 與本文關係
[3] Marchetti et al., Photon. Res., 2019 矽光子耦合策略綜述
[4][5] Noriki et al., Opt. Exp. 2019;JLT 2020 45° 彎曲微反射鏡垂直 I/O
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[13][14][15] Scarcella 2017;Mathai 2020;Hughes 2019 PIC 頂面微透鏡可插拔介面
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[18] Psaila et al., JLT 41(19), 2023 本團隊前作:可拆式光學 chiplet 連接器
[19][20][21] Račiukaitis 2021;Weingarten 2017;Macleod 2018 超短脈衝雷射、雷射拋光、光學鍍膜

資料來源:N. Psaila, Z. Chaboyer, J. Macdonald, P. Tadayon, JLT 42(15), 5223–5230, 2024 。所有圖片取自原論文 Fig. 1–16。

資料來源